イオンミリング装置
| メーカー | 日本電子㈱ |
|---|---|
| 型式 | SM-09010 |
詳細
| 用途 | アルゴンイオンビームによるエッチングで、研磨ダレが非常に少ない断面加工の実施が可能です。 |
|---|---|
| 機能 | ・イオン加速電圧：2～6kV ・イオンビーム径：500μm ・ミリングスピード：約100μm/h ・最大試料サイズ：W11×D10×H2mm |
EQUIPMENT
SM-09010
Other equipment