オスミウムコータ
| メーカー | メイワフォーシス㈱ |
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| 型式 | Tennant20 |
詳細
| 用途 | SEM観察・元素分析時のチャージアップを防ぐため、試料に極薄で強固な導電被膜のオスミウムコーティングを行います。 |
|---|---|
| 機能 | ・チャンバー寸法：φ150×70mm ・膜厚設定：0.0～30.0nm ・電流地設定：0.1～20.0mA |
EQUIPMENT
Tennant20
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